使用带电粒子束和有源像素控制传感器来分析样品的系统和方法

使用带电粒子束和有源像素控制传感器来分析样品的系统和方法。本文教导的系统和方法利用单个检测器来为利用带电粒子束询问的样品提供一维数据(例如，用于直接形貌成像)和多维数据(例如，用于晶体学数据)两者。在一些示例中，一维数据可包括由于跨整个检测器表面接收的反向散射电子而产生的信号强度，而多维数据可包括作为像素位置的函数的由于反向散射电子而产生的信号强度。通过从单个检测器获得一维数据和多维数据，可在相同位置、同时地或既在相同位置又同时地获得该一维数据和多维数据。