一种硅-金属复合MEMS材料大气腐蚀传感器及其制备方法和材料大气腐蚀检测设备

本申请提供一种硅‑金属复合MEMS材料大气腐蚀传感器及其制备方法和材料大气腐蚀检测设备，涉及材料腐蚀传感器领域。硅‑金属复合MEMS材料大气腐蚀传感器包括阴阳极模块和空腔结构模块；所述阴阳极模块包括第一衬底和设置在所述第一衬底表面的、各自独立的金属阳极和金属阴极；所述空腔结构模块包括第二衬底，所述第二衬底设置有凹陷部和用于与测试环境大气连通的通孔，所述凹陷部自所述第二衬底的第一侧向相对的第二侧延伸，通孔自第二侧的表面延伸至所述凹陷部的底部；所述第二侧的表面与所述第一衬底的表面抵接，且所述金属阴极和所述金属阳极设置在所述凹陷部内。本申请提供的传感器，灵敏度、可靠性和一致性好。