一种气体驱动的MEMS微镜及其形成方法

本发明涉及一种气体驱动的MEMS微镜，包括：微镜结构以及微镜基体，该微镜基体的内部形成有微镜活动腔，用于为所述微镜结构提供活动空间和机械支撑。其中，所述微镜结构进一步包括：镜面，用于反射光线；扭转梁，一端连接所述镜面，另一端连接所述微镜活动腔的侧壁；扭转受力面，一端连接所述镜面，另一端为自由端，所述微镜活动腔在所述扭转受力面的上方设置有进气通道出口。本申请通过外接气源提供动力，无需额外的芯片驱动模块，结构简单且可靠，能够在高温环境下稳定运行、实现较大的扭转角度，具有更好的可靠性和经济性。