防溅液装置及晶圆清洗装置

本申请实施例提供了一种防溅液装置及晶圆清洗装置。一种防溅液装置，所述防溅液装置位于晶圆清洗装置的底板的排水口上方，所述防溅液装置覆盖所述排水口，所述晶圆清洗装置用于对晶圆进行竖向清洗，所述防溅液装置包括：两个固定块，两个所述固定块彼此平行；至少一个导向板，所述至少一个导向板设置至两个所述固定块之间，并与两个所述固定块的内壁面均垂直连接，所述导向板所处的平面与竖直面之间具有第一夹角，以接住并引导晶圆滴落的液滴至所述排水口。本申请实施例提供一种防溅液装置及晶圆清洗装置，能够有效的避免晶圆的表面残存液体滴落后回粘晶圆的表面。