光刻机中曝光系统的动态补偿方法、光刻机、设备及介质

本申请提供一种光刻机中曝光系统的动态补偿方法、光刻机、设备及介质，涉及光刻机技术领域。该方法包括：接收前端模块发送的光强探测器感应的光强信号；根据预设补偿算法获取光强信号对应的补偿参数，补偿参数包括下述至少一种：电压补偿参数、时间补偿参数；根据光强信号和光强信号对应的补偿参数，向前端模块发送调节指令，以使前端模块根据调节指令调节光源模块的光源强度和/或曝光时间，可以在曝光系统中实现动态补偿，使得实际曝光更加符合预期设计要求，从而提高最终产品的质量，提高曝光系统的稳定性和可靠性。