一种基于晶圆暗裂的分区切割方法及芯片单元

AITNT
正文
推荐专利
一种基于晶圆暗裂的分区切割方法及芯片单元
申请号:CN202411881281
申请日期:2024-12-19
公开号:CN119764258A
公开日期:2025-04-04
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种基于晶圆暗裂的分区切割方法及芯片单元,基于晶圆暗裂的分区切割方法包括:提供玻璃载台及CCD,并设置光源;通过CCD获取待切割晶圆的灰度图像;判断待切割晶圆是否存在暗裂;获取人员指令,若所述人员指令为第一指令,则获取若干个切割道;基于暗裂线段及若干个切割道,将待切割晶圆划分为若干个区域;依次对若干个区域的内部进行切割。通过CCD识别图像,并将图像处理为灰度图像,通过灰度差检测是否存在暗裂,针对存在暗裂的情况,将待切割晶圆进行分区,对若干个区域分别进行切割,防止机器将因暗裂造成错位而排列不齐的若干个芯片单元切坏。
技术关键词
切割方法 晶圆 分区 指令 S形路线 芯片 线段 玻璃 图像处理 光源 错位 形态
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号