一种对接外延生长脊波导激光器芯片及其制作方法

本发明公开了一种对接外延生长脊波导激光器芯片及其制作方法，属于激光器技术领域，包括将对接生长的外延片上制作出脊波导结构，脊波导结构涂覆一层光刻胶黏附剂以及两层光刻胶，套刻脊波导结构的凸脊处开出窗口，窗口覆盖无源区和部分有源区的上方区域，对窗口内的外延片进行曝光和显影，去除部分光刻胶，刻蚀去除窗口内的剩余光刻胶暴露出欧姆接触层，腐蚀去除窗口内的欧姆接触层，去除外延片表面的全部光刻胶。本发明通过双层胶光刻和湿法腐蚀来控制欧姆接触层的长度，进一步向有源区上方的欧姆接触层进行腐蚀，有效抑制了电流向无源波导方向的扩散，降低了芯片的阈值电流，降低无源波导区域的发热量，提高了芯片的可靠性。