摘要
本申请公开了一种液态树脂精密供给装置,涉及供料技术领域,其包括机箱以及安装在机箱内的存料架、移送机器人、多个供给机构和称重器,供给机构包括安装架、升降部、升降架、夹持部和挤压部,安装架设置在机箱内,升降部设置在安装架上,升降架设置在升降部上,夹持部和挤压部设置在升降架,升降架的底端设置有第一夹爪。本申请使用移送机器人将料筒移送至多个供给机构处,夹持部夹持固定料筒,挤压部将液态树脂挤压至晶圆上,当液态树脂供给量将要达到指定量时,第一夹爪夹持料筒的出料口,升降部带动料筒往复升降移动,便于线状的液态树脂快速断开,提高了液态树脂的供给精度和供给效率。
技术关键词
外罩
存料架
称重器
料筒
机箱
挤压头
驱动轮
接料盘
驱动块
弹性复位件
升降件
棘爪
升降柱
驱动齿条
机器人
旋转座
棘轮
安装座
供料技术
驱动件