一种高精度靶材电阻率自动化测量系统与方法

本发明涉及电阻率测量技术领域，具体涉及一种高精度靶材电阻率自动化测量系统与方法，该测量系统，包括以下模块：四探针模块，包括两个电流探针与两个电压探针，所述电流探针用于对靶材施加稳定电流，电压探针则用于测量靶材表面的电压降，温度控制模块，用于根据靶材材料特性预设温度，并将温度调整至设定值并稳定，探针定位模块，包括机械臂和定位传感器，采用机械臂和定位传感器将四探针自动定位至靶材表面，并调整四探针与靶材接触压力至预设值。本发明通过四探针技术、温度补偿算法、数据采集与处理模块以及自动化测试平台的集成，系统自动计算靶材电阻率，生成测试报告，包括测试条件、测量数据、电阻率值及温度补偿结果。