半导体设备及其操作方法

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正文
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半导体设备及其操作方法
申请号:CN202411888430
申请日期:2024-12-19
公开号:CN119786428A
公开日期:2025-04-08
类型:发明专利
摘要
本公开实施例提供一种半导体设备及其操作方法,该半导体设备包括顶针部件;顶针部件包括第一基座以及位于第一基座的顶部的多个顶针;多个顶针的分布范围覆盖需要顶起的多个不同尺寸的芯片,且多个顶针中每个顶针均可被单独控制顶起高度以顶起不同尺寸的芯片。
技术关键词
半导体设备 真空吸附结构 顶针部件 吸嘴部件 马达单元 真空吸附功能 基座 环状 调节结构 芯片 尺寸 键合设备 气缸单元 分选机 阵列
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