拉晶炉除尘罐的清洁系统

本发明提供了一种拉晶炉除尘罐的清洁系统，涉及半导体技术领域拉晶炉除尘罐的清洁系统，包括：拆卸装置、移动装置、清洁装置和控制设备；所述控制设备分别与所述拆卸装置、所述移动装置和所述清洁装置连接；所述控制设备用于控制所述拆卸装置将除尘罐拆解为罐体和滤芯；所述控制设备用于控制所述移动装置将所述罐体和所述滤芯转运至所述清洁装置中；所述控制设备用于控制所述清洁装置分别对所述罐体和所述滤芯进行清洁。本发明能够实现对拉晶炉除尘罐的自动化拆卸和清洁的流程，无需人员参与，减少拉晶炉除尘罐的清洁难度，提高清理效率。