基于全封闭微泡结构的双向微流体泵芯片及制造方法

本发明公开了一种基于全封闭微泡结构的双向微流体泵芯片及制造方法。微流体泵芯片包括环形流道，所述环形流道包括蜿蜒延伸的第一流道和第二流道，所述第一流道的两侧凸岸设有第一共振空腔，所述第二流道的两侧凸岸设有第二共振空腔。由于所述第一共振空腔和第二共振空腔具有不同的特征频率，可以通过不同频率超声的选择性激励实现流体的泵送，从而驱动第一流道和第二流道内流体向不同方向流动。制造方法包括光刻、倒模和键合工艺。本发明可以实现通过改变超声频率来控制液体的流动方向，实现液体双向泵送。