一种晶圆测试设备

本发明提供了一种晶圆测试设备，涉及晶圆测试技术领域。本发明中第一滑轨组件安装在承载台上。探针座组安装在第一滑轨组件上，且包括沿第一滑轨组件的延伸方向滑动的至少一个探针座，探针座中包括探针组件、PCB板和线缆组件。线缆组件的一端与PCB板连接，另一端与测试机连接。探针组件与PCB板可拆卸连接，且用于与待测晶圆上的被测芯片接触。上述技术方案一方面通过多个探针座对多个被测芯片进行同时测试，可以提高芯片的测试效率。另一方面在更换探针组件时不需要拆卸线缆组件，只需要将探针组件拆卸更换即可，可以避免造成针卡损坏，并且节约了针卡的更换时间，进一步提高了被测芯片的测试效率。