基于光谱的芯片缺陷检测方法及相关设备

本发明涉及一种基于光谱的芯片缺陷检测方法及相关设备，包括以下步骤：通过预设的光谱仪收集从待检测芯片反射出来的光谱信号；对所述光谱信号进行光谱特征提取，得到提取光谱特征；对所述提取光谱特征进行特征分析，得到特征分析结果；若所述特征分析结果是所述提取光谱特征中存在芯片缺陷特征，则利用预设的光谱成像技术对所述待检测芯片进行缺陷区域定位，得到待检测芯片定位区域；对待检测芯片定位区域进行缺陷类型分析，得到缺陷类型，并基于所述缺陷类型得到缺陷因子，基于所述缺陷因子制定解决缺陷策略；解决了传统的缺陷检测方法往往依赖于物理检测和人工检查，存在效率低、主观性强的的技术问题。