电子显微成像自动对焦方法、装置、设备、介质和产品

本申请涉及电子显微成像技术领域，特别是涉及一种电子显微成像自动对焦方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。方法包括：获取初始图像；以初始图像为起点，应用电流定位模型对待测对象进行搜索，确定聚焦搜索起点；基于预设的搜索参数对聚焦搜索起点进行调节，获取与调节后的成像参数相对应的检测图像，搜索参数对应的搜索步长以及搜索方向根据对历史检测图像的清晰度评价结果进行动态调节；响应于调节后的检测图像不满足清晰度评价指标，对搜索参数进行更新；基于更新后的搜索参数调节成像参数，直至检测图像满足预设的对焦需求。采用本方法能够提高自动聚焦的效率，提高聚焦点定位的准确度以及算法实施的鲁棒性。