一种应用于燃料电池控制的微波流量传感芯片

本发明公开了一种应用于燃料电池控制的微波流量传感芯片，包括微流控芯片和电容阵列传感芯片；微流控芯片包括相连接的微流控气体通道、微流控液体通道和微流控混合通道，微流控混合通道包括若干个微流控混合通道单元；电容阵列传感芯片包括基板以及设置于基板上的电容传感结构，电容传感结构包括若干个气泡测量单元，若干个气泡测量单元与若干个微流控混合通道单元一一键合。本发明提供的微波流量传感芯片由微流控芯片和电容阵列传感芯片组合而成，其具备快速且精确测量和控制气体流量的能力，能够进行更为可靠和高效的流量监测。该微波流量传感芯片能够显著提高燃料电池系统的稳定性和性能，从而推动其在能源转换领域的应用发展。