基于波长调制的光谱共焦位移测量系统及测量方法

本发明涉及光学检测领域，尤其涉及一种基于波长调制的光谱共焦位移测量系统及测量方法，测量系统包括可调谐激光器、二相色镜、色散透镜、针孔、光电二极管和调制器；可调谐激光器用于输出激光；调制器用于根据色散透镜的波长与轴向聚焦位置的非线性关系计算可调谐激光器的波长调制函数，通过波长调制函数对可调谐激光器的输出波长进行非线性调制，使可调谐激光器的输出波长的变化速率与色散透镜的轴向分辨率相适应；二相色镜用于对光束进行反射和透射；色散透镜用于对光束进行色散，并聚焦到样品的不同位置；光电二极管用于接收经样品反射的各束反射光，并将光信号转换为电信号；针孔用于抑制离焦光。本发明能够提高测量精度和测量结果的稳定性。