一种芯片表面缺陷检测方法

本发明提供了一种芯片表面缺陷检测方法，包括以下步骤：采集芯片表面的图像数据，对采集图像进行数据处理，再基于处理后的采集数据，利用超分辨率重建算法进行图像重建，得到图像数据集；在Faster R‑CNN算法中引入ResNet50网络、K‑means聚类、多尺度特征金字塔、改进的EMSConv模块以及改进的非极大值抑制，得到改进的网络结构；利用改进的网络结构得到图像数据集的候选区域；利用分类网络、置信度阈值和改进的非极大值抑制，对候选区域进行处理，得到芯片表面缺陷的位置、类别和置信度。本发明能够提高图像质量与分辨率，增加微小目标的细节纹理，实现对芯片表面缺陷的快速、准确检测。