一种MEMS陀螺机电结合Σ-Δ闭环环路参数的确定及优化方法

本发明属于惯性传感器控制技术领域，具体涉及一种MEMS陀螺机电结合Σ‑Δ闭环环路参数的确定及优化方法。本发明的方法在环路中加入电子补偿器补偿陀螺敏感模态z域传递函数的零点和MEMS陀螺机电结合Σ‑Δ闭环检测环路的极点，基于电子Σ‑Δ调制器与MEMS陀螺机电结合Σ‑Δ闭环检测环路的等效确定参数，并使用多目标优化算法优化在近似等效过程中造成的性能损失，得到最优参数。