一种微纳试件力学特性的分析方法

本发明公开了一种微纳试件力学特性分析方法，属于半导体材料性能测试领域。本发明为解决现有方法中人工操作繁琐和图像精度低的问题，主要采用自动化提取关键帧、精确测量微位移、边缘保留滤波和亚像素边缘检测等技术手段。通过模板匹配提取感兴趣区域，逐帧读取视频图像并结合直线检测确定关键帧，进而进行细节增强和噪声消除。对图像进行亚像素级别的边缘检测，提取清晰的边缘并进行连接，最终通过测量待测距离并代入力学公式计算微纳试件的力学特性。本发明能够减少人工干预，有效提高分析精度和效率。