一种单电极双光敏区四象限PIN探测器及其制备方法

本发明涉及一种单电极双光敏区四象限PIN探测器，属于半导体光电传感器芯片领域。该探测器包括衬底、缓冲层、吸收层以及位于吸收层表面且呈四象限分布的第一和第二PIN型光电二极管。各象限的第一PIN型光电二极管呈扇环形，第二PIN型光电二极管呈扇形；扇环形的第一PIN型光电二极管分布在扇形的第二PIN型光电二极管的外侧。在各象限间隔中设有金属走线，用于连接同一象限内的第一和第二PIN型光电二极管，实现一个象限内的第一和第二PIN型光电二极管共用一个P电极，同时实现各象限间隔挡光和增强探测器中心区域电场。本发明可兼容兼容大、小双光斑的工作模式，节省了卫星载荷、功耗，在卫星载荷应用方面具有显著的优势。