一种基于薄膜谐振器的细胞操纵方法及微芯片

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一种基于薄膜谐振器的细胞操纵方法及微芯片
申请号:CN202411927754
申请日期:2024-12-25
公开号:CN119639731A
公开日期:2025-03-18
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种基于薄膜谐振器的细胞操纵方法及微芯片,细胞操纵方法包括:将包含细胞的液体设置在薄膜谐振器薄膜上,驱动薄膜按预设谐振模态振动;薄膜谐振使液体内形成涡流场,拖拽细胞向波腹上方涡流场受力平衡点移动,实现细胞的图案化操纵。本发明通过电信号的驱动频率控制薄膜谐振器的谐振模态来操纵细胞,提高细胞操纵速度和操纵精度;同时利用谐振产生涡流场实现细胞操纵,避免与细胞的直接接触,有利于保持细胞原有状态,避免引入不必要的细胞刺激和损伤;最后采用微加工工艺实现微芯片的阵列制造,还可以实现对大量细胞并行操纵,提高细胞图案化复杂度和操纵效率。
技术关键词
薄膜谐振器 微芯片 涡流 液体 氮化铝薄膜 驱动结构 氮化硅薄膜 图案 阵列 受力 复杂度 电信号 频率 精度 速度
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