一种晶圆测试装置及测试方法

本发明提供一种晶圆测试装置及测试方法，包括：探针卡台，包括探针卡和功能电路，探针卡设置有一类键合点和二类键合点；一类键合点和二类键合点通过探针与待测试晶圆的芯片管脚电连接；二类键合点分别对应于不同的功能电路；测试控制台，与探针卡台通信连接，用于根据待测试晶圆的型号选择匹配的二类键合点与待测试晶圆的芯片管脚电连接，还用于通过探针卡台对待测试晶圆进行测试，以得到测试结果。通过在探针卡设置一类键合点和二类键合点，其中二类键合点可以根据待测试晶圆的型号灵活选择，从而使得待测试晶圆接入不同的功能电路，实现不同的功能测试，使得探针卡台能够兼容不同型号的待测试晶圆，解决了现有ATE测试设备兼容性较差的问题。