单细胞捕获微流道量热芯片及其制备方法和单细胞捕获微流道量热系统

本发明提供了一种单细胞捕获微流道量热芯片及其制备方法和单细胞捕获微流道量热系统，属于半导体器件技术领域。该单细胞捕获微流道量热芯片，包括：硅基底，具有相对的第一表面及第二表面，位于第一表面及第二表面之间的硅基底的内部平行间隔的设置有两个容纳槽；以及保护膜层，沉积于第一表面、第二表面及容纳槽的内壁，位于容纳槽内的保护膜层包围形成微流道单元；其中，微流道单元的一端设置有贯穿第二表面的微流道入口，微流道单元的另一端设置有贯穿第二表面的微流道出口，微流道单元的位于微流道入口及微流道出口之间的部分设置有适用于捕获细胞的细胞捕获腔。