一种波导集成红外光谱芯片及其检测方法

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一种波导集成红外光谱芯片及其检测方法
申请号:CN202411936297
申请日期:2024-12-26
公开号:CN119804370A
公开日期:2025-04-11
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种波导集成红外光谱芯片,包括:第一光波导,所述第一光波导长度方向设置有多个不同规格的红外胶体量子点探测器。波导集成红外光谱芯片使用不同胶体量子点制作探测器,将不同胶体量子点制作探测器布置到一条光波导上,当有红外光通过光波导时,不同探测器输出不同光电流。
技术关键词
量子点探测器 光波导 二氧化硅薄膜 量子点薄膜 量子点制作 芯片 光电流 金属电极片 红外光 空穴传输层 上沉积 氮化硅 石墨烯 电子
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