摘要
本发明公开了一种压力传感器的检测系统及方法,包括相互通信连接的检测台和上位机;检测台上表面设置若干传感器插座,传感器插座连接MEMS加工阶段或一次封装阶段的压力传感器芯体;检测台内部设置有检测电路,检测电路为传感器插座供电,并采集连接在传感器插座上的压力传感器芯体的参数信号;上位机向检测台下达检测指令,并接收检测台采集的压力传感器芯体的参数信号,判断压力传感器芯体的质量。本发明压力传感器在MEMS加工阶段或一次封装阶段进行压力传感器的质量检测,通过检测压力传感器电桥、测温热电阻信号等核心参数判断分析具体制造缺陷,对存在问题的压力传感器进行回炉重造,从而提质降本减少损耗,提高生产效率。
技术关键词
传感器插座
压力传感器芯体
控制芯片
光耦继电器
检测压力传感器
电桥
检测台
电源管理单元
信号
控制继电器开关
复位单元
电压
参数
阶段
测温热电阻
电路
指令
通讯
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