一种压力传感器的检测系统及方法

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一种压力传感器的检测系统及方法
申请号:CN202411937111
申请日期:2024-12-26
公开号:CN119845483A
公开日期:2025-04-18
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种压力传感器的检测系统及方法,包括相互通信连接的检测台和上位机;检测台上表面设置若干传感器插座,传感器插座连接MEMS加工阶段或一次封装阶段的压力传感器芯体;检测台内部设置有检测电路,检测电路为传感器插座供电,并采集连接在传感器插座上的压力传感器芯体的参数信号;上位机向检测台下达检测指令,并接收检测台采集的压力传感器芯体的参数信号,判断压力传感器芯体的质量。本发明压力传感器在MEMS加工阶段或一次封装阶段进行压力传感器的质量检测,通过检测压力传感器电桥、测温热电阻信号等核心参数判断分析具体制造缺陷,对存在问题的压力传感器进行回炉重造,从而提质降本减少损耗,提高生产效率。
技术关键词
传感器插座 压力传感器芯体 控制芯片 光耦继电器 检测压力传感器 电桥 检测台 电源管理单元 信号 控制继电器开关 复位单元 电压 参数 阶段 测温热电阻 电路 指令 通讯
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