半导体检查装置以及半导体装置的制造方法

本发明提供改善缺陷检查中的分类精度、高精度地判定半导体装置的优劣的半导体检查装置。半导体检查装置(101)包括：第一检查信息取得部(10)、第二检查信息取得部(20)以及筛选部(30)。第一检查信息取得部(10)取得包括离子注入前的半导体晶片的表面的凹凸信息的第一图像信息。第二检查信息取得部(20)取得包括离子注入后被热处理的半导体晶片的光致发光的信息的第二图像信息。筛选部(30)基于第一图像信息和第二图像信息，确定半导体晶片所包含的缺陷，并判定形成于半导体晶片的半导体芯片的优劣。