一种可检测气、液体流量的多用途微波传感器

本发明公开了一种可检测气、液体流量的多用途微波传感器，属于微波传感器领域。所述传感器包括：微流控芯片和LC谐振器；所述微流控芯片包括：LC谐振器蚀刻槽和将待测物质注入和导出所述LC谐振器蚀刻槽的管路；所述LC谐振器包括电感线圈和电容阵列，所述电容阵列中设有金属块状阵列；所述微流控芯片和LC谐振器紧密贴合，且所述LC谐振器蚀刻槽覆盖所述电容阵列，在所述金属块状阵列中形成空腔。本发明利用待测物质含量对谐振频率的影响，可以实现气体、液体流量的精确检测，也可以用于物质纯净度的检测，相比与现有微波流量传感器，本发明不局限于单一气体或液体流量的检测，有很强的通用性，用途广泛，且能够达到较高的检测精度。