有限元与MBVD模型联合的FBAR滤波器仿真方法

本发明公开了一种有限元与MBVD模型联合的FBAR滤波器仿真方法，包括：S1、构建谐振器三维有限元模型；其中，该模型上电极层和下电极层为形状相同的电极层，电极层的形状为五边形；S2、对谐振器三维有限元模型进行仿真，得到阻抗‑频率特性曲线；S3、根据阻抗‑频率特性曲线和滤波器设计目标，调整上电极层的厚度，得到目标谐振器三维有限元模型；S4、建立对应的MBVD模型，并得到第一S参数曲线；S5、当第一S参数曲线满足设计目标时，建立滤波器三维有限元模型；若不满足，则返回S3。本发明能够准确地反映电极厚度、形状以及寄生振动对谐振频率的影响，能够有效抑制寄生振动模式，具有较高的设计效率、仿真精度和灵活性。