一种深紫外大数值孔径长工作距的显微光学系统

一种深紫外大数值孔径长工作距的显微光学系统，涉及光学成像技术领域。为解决现有技术中存在的，现有的筒镜的设计往往难以与高数值孔径的物镜完美匹配，对高端显微光学系统存在限制的技术问题，本发明提供的技术方案为：一种深紫外大数值孔径长工作距的显微光学模块，所述模块包括：同轴设置的筒镜光学系统和物镜光学系统；所述筒镜光学系统包括第一透镜组和第二透镜组；所述物镜光学系统包括第三内反透镜组、第四透镜组、第五透镜组和第六内反透镜组。系统还包括与所述模块同轴设置的像平面和物平面。适合应用于显微光学系统的设计工作中。