一种基于透镜阵列光学传导的剪应力微传感器及其封装方法

本发明一种基于透镜阵列光学传导的剪应力微传感器及其封装方法，属于MEMS传感器技术领域；包括沿光路依次设置的光纤、透射透镜组、MEMS芯片、反射透镜组、光电探测器，由光纤传输的光信号经透射透镜组传输至MEMS芯片，经MEMS芯片的反射光栅将携带位移的光信号反射，反射后的光信号再经反射透镜组传递至光电探测器的有效工作区域；通过光电探测器将光信号转化为电信号，从而获取用于计算剪应力的位移信息。本发明有效避免了粘接胶固定光纤时容易出现的光纤位移和角度偏移问题，降低了光损耗，提升了光信号的传输效率和稳定性，从而增强了传感器的灵敏度。克服光路传输损耗大和稳定性差等问题。