晶圆定位方法及装置

本申请涉及一种晶圆定位方法及装置，所述方法包括：将运动载台移动至示教位置并记录其标定位置坐标、旋转角度；通过图像采集装置对置于运动载台上的标定板的特征标记、位于不同旋转轴角度下的图像进行采集，以获取像素坐标系与世界坐标系的映射关系，对待定位产品位于不同旋转轴角度下的边缘图像进行采集，对位于不同旋转轴角度下的标定板、待定位产品的边缘图像进行采集是通过运动载台于标定旋转角度幅度下进行旋转得到的；依据映射关系获取世界坐标系下的边缘的位置坐标、待定位产品的中心位置坐标；对待定位产品上的定位标记的轮廓信息进行采集，依据映射关系，以获取定位标记的位置坐标。采用本方法能够有效提升晶圆的对位精度。