一种芯片表面缺陷检测方法及系统

本发明公开了一种芯片表面缺陷检测方法及系统，涉及缺陷检测技术领域，该系统通过特征提取模块提取芯片表面的形态学特征集Xi、纹理特征集Wi和边缘特征集Bi，结合CNN深度学习模型，计算出缺陷概率Pdefect。在缺陷评估模块中，根据预设的缺陷阈值F1，对当前芯片表面的缺陷进行初步评估，确定是否存在缺陷。随后，使用支持向量机SVM算法对检测到的缺陷进行详细分类，获取缺陷严重性评分Sdefect，并预设评分区间[Pf1，Pf2]对缺陷的严重性进行等级划分。这种多层次的缺陷评估和分类方法，不仅可以识别缺陷，还可以评估缺陷的严重程度及其对芯片功能的影响，为生产和质量控制提供了全面的参考。