摘要
本发明提供一种芯片结构及芯片封装方法。该芯片结构包括:芯片基板;芯片基板的正面设有正面金属化层,正面金属化层包括正面压点和正面接地金属化区域;芯片基板的背面设有背面金属化层,背面金属化层包括背面压点和背面接地金属化区域,正面压点与背面压点对应设置,背面接地金属化区域与正面接地金属化区域对应设置;芯片基板内设有若干Via通孔互连结构,正面压点与相对应的背面压点通过Via通孔互连结构连接,正面接地金属化区域与背面接地金属化区域通过Via通孔互连结构连接,背面压点作为与外部电路进行信号传输的接触端子。本发明能够在芯片制作阶段,将芯片正面的压点引出至背面,避免后期与外界电路封装连接时的电磁耦合产生。
技术关键词
金属化
芯片封装方法
通孔互连结构
芯片基板
芯片结构
正面
重布线层
介质
接触端子
电路封装
接触焊盘
焊球
栅极电极
空腔
离子
包裹
有源区