基于改进SegFormer的芯片图像缺陷分割方法

本发明公开了一种基于改进SegFormer的芯片图像缺陷分割方法，构建芯片表面缺陷图像语义分割数据集；改进SegFormer语义分割网络，将编码器中Transformer Block的自注意力替换为交叉协方差注意力CrossCovAttn，解码器改用U形结构，添加AFF动态特征融合模块；训练得到改进SegFormer语义分割模型；调整模型训练参数，得到优化模型；选取性能最优的改进SegFormer语义分割模型，对芯片表面缺陷图像进行语义分割，得到语义分割结果图像。本发明增强了处理不同类型和尺度缺陷的能力，优化了SegFormer网络分割效果，提高了不同类型和尺度缺陷的分割精度。