摘要
本实用新型公开了一种纳米芯片硅晶片清洁装置,包括清洗箱,所述清洗箱的一侧贯穿插设有活动板,所述清洗箱的侧壁安装有驱动活动板移动的推动组件,所述活动板的上表面固定连接有固定立柱,所述固定立柱的一侧滑动连接有升降条,所述固定立柱的顶部安装有驱动升降条升降的第一动力组件。本实用新型,启动第一伺服电机,使得放置框上升到清洗箱的上方,然后启动第二伺服电机,第二伺服电机的输出轴带着第二螺纹杆旋转,使得两个移动架带着接水壳体移动到放置框的下方,然后启动抽水泵抽取清水,清水进入到安装管内部后通过多个喷出管流出到硅晶片上,并配合放置框不停的晃动进行冲洗,清洗方便,操作简单,提高了硅晶片的清洁效率。
技术关键词
晶片清洁装置
芯片硅
清洗箱
动力组件
伺服电机
活动板
立柱
抽水泵
纳米
螺纹杆
清洗组件
移动架
驱动气缸
隔离板
清洗液
壳体
矩形
活塞