一种纳米芯片硅晶片清洁装置

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正文
推荐专利
一种纳米芯片硅晶片清洁装置
申请号:CN202421250114
申请日期:2024-06-04
公开号:CN222507556U
公开日期:2025-02-18
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型公开了一种纳米芯片硅晶片清洁装置,包括清洗箱,所述清洗箱的一侧贯穿插设有活动板,所述清洗箱的侧壁安装有驱动活动板移动的推动组件,所述活动板的上表面固定连接有固定立柱,所述固定立柱的一侧滑动连接有升降条,所述固定立柱的顶部安装有驱动升降条升降的第一动力组件。本实用新型,启动第一伺服电机,使得放置框上升到清洗箱的上方,然后启动第二伺服电机,第二伺服电机的输出轴带着第二螺纹杆旋转,使得两个移动架带着接水壳体移动到放置框的下方,然后启动抽水泵抽取清水,清水进入到安装管内部后通过多个喷出管流出到硅晶片上,并配合放置框不停的晃动进行冲洗,清洗方便,操作简单,提高了硅晶片的清洁效率。
技术关键词
晶片清洁装置 芯片硅 清洗箱 动力组件 伺服电机 活动板 立柱 抽水泵 纳米 螺纹杆 清洗组件 移动架 驱动气缸 隔离板 清洗液 壳体 矩形 活塞
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