摘要
本申请提供一种可移动石英销装置及液面距离测量系统,其中装置包括石英销以及收放控制组件;石英销通过导流筒底部的通孔贯穿导流筒底部,当石英销装置处于测量状态时,石英销下端探出导流筒底部;在硅原料加料的过程中,收起石英销,避免石英销在加料过程中被磕碰导致断裂掉落,污染硅熔液,或沾上溅起的熔硅影响定位功能,达到了更好的液面定位效果;收放控制组件包括石英销连接件、连接件移动机构以及移动机构控制单元,石英销连接件与所述石英销上端固定连接。系统用于在单晶硅生长过程中测量导流筒和硅熔液之间的距离,采用倒影法,通过摄像机拍摄的石英销及其倒影,并上传至图像处理器,图像处理器计算得到精确的液面距离。
技术关键词
石英
导流筒
移动机构
水平件
图像处理器
控制组件
摄像机
电机驱动芯片
控制单元
齿条
耐高温材料
隔热层
石墨材料
条状结构
单晶硅
齿轮
凹槽
通孔