存放机构、上下料装置及旋涂设备

本实用新型属于旋涂技术领域，公开了一种存放机构、上下料装置及旋涂设备。此存放机构包括至少两个延伸板和承载组件，至少两个延伸板沿第一方向间隔设置；承载组件用于承载基片，承载组件包括两个承载板，两个承载板分别设置于两个相邻的延伸板相对的壁面上，两个承载板之间具有第一避让间隙，用于夹取基片的夹持件能够通过第一避让间隙，以将基片取出。此存放机构的结构简单，能够存放基片，并且第一避让间隙的设置使得夹持件能够在抓取基片后顺利移出存放机构，使得基片的上下料十分便利，上下料效率高，且能够实现自动上下料，降低了人工成本，减少了工作强度。