一种功率半导体器件测试电路

本实用新型公开了一种功率半导体器件测试电路，涉及半导体器件测试技术领域，解决了现有的对半导体器件进行测试时，成本较高，且测试效率低的技术问题。该电路包括：驱动模块和被测模块，所述被测模块与所述驱动模块连接；所述被测模块包括被测元件Q22、被测元件Q21、电感L2和开关SW2；所述被测元件Q22的栅极与所述驱动模块连接，源极接地，漏极与所述电感L2连接；所述电感L2与VCC连接；所述被测元件Q21的栅极和源极短接，漏极与所述开关SW2串联连接，串联连接后所述被测元件Q21和所述开关SW2并联连接在所述电感L2的两端。本实用新型能够同时对半导体器件进行双脉冲测试和EAS测试，节省测试成本，提升测试效率的同时还能够保证测试的准确性。