摘要
本说明书实施例提供一种用于晶体生长废料的清洗装置。该清洗装置包括:清洗室,用于容纳清洗液和晶体生长废料;进液管,进液管的一端与清洗室相连通;处理室,处理室内设有加热组件;排出管,排出管的一端设于清洗室的底部,且与清洗室相连通;排出管的另一端与处理室相连通;排出管上设有过滤组件、第一阀门和第二阀门,其中,第一阀门设于排出管上靠近清洗室的一端;第二阀门位于排出管上靠近处理室的一端;过滤组件位于排出管上的第一阀门和第二阀门之间的位置,用于分离经清洗后的晶体生长废料和液体且过滤后的晶体生长废料能够进入处理室。
技术关键词
清洗室
可移动软管
容纳清洗液
阀门
过滤组件
进液管
加热组件
储存罐
超声波发生器
抽气泵
机械臂
液体
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