摘要
本实用新型涉及芯片制作相关设备技术领域,公开一种精洗池,包括第一清洗池和与其相连的第二清洗池,第一清洗池内包括运输辊、振子、防溢辊轮和挡板,第二清洗池包括防溢辊轮、挡板、二流体和轨道传送带,防溢辊轮分别位于第一清洗池和第二清洗池的两侧,振子位于第一清洗池内,防溢辊轮内侧设有挡板,第二清洗池内的二流刀依次排列在第二清洗池内,最大程度的减少清洗液的流逝,保证料片框架在清洗池内的充分浸润,通过防溢辊轮还能对料片进行初步的清洁。
技术关键词
清洗池
出水管
运输辊
运输带
高频振子
轨道
传送带
清洗液
电机
海绵
凹槽
包裹
芯片
框架
通孔