一种芯片夹具抛光研磨装置

本实用新型属于芯片抛光设备技术领域，尤其为一种芯片夹具抛光研磨装置，包括研磨盘和研磨夹具，所述研磨夹具包括贴合于所述研磨盘顶部的夹紧座以及固定在所述夹紧座上的固定柱，在所述夹紧座上具有多个沿圆周方向等间隔分布的夹持面，还包括：夹持板，所述夹持板被可移动地连接于所述夹持面；齿圈，所述齿圈被可转动地连接于所述夹紧座；翻转连接臂，所述翻转连接臂的一端与所述齿圈铰接、另一端与所述夹持板铰接；驱动机构，所述驱动机构可驱动地连接于所述齿圈，用于驱动所述齿圈转动；本实用新型中，通过设置的驱动机构驱动齿圈转动，能够驱动多个夹持板同步移动，便于快速装夹和拆卸，加工效率大幅度提升。