一种基于负载特性的等离子强度补偿电路

本实用新型公开了一种基于负载特性的等离子强度补偿电路，所述电路包括光强采集电路、光强信号量隔离前跟随电路、光强信号隔离电路、光强信号差分放大电路以及光强信号量隔离后跟随电路，通过在反应器内设置等离子光强传感器，通过光强传感器对等离子进行实时感知并获取等离子特性相关变量，并转换为等离子强度补偿信号量，经隔离后送往电源端，电源端依据补偿信号量进行补偿输出，完成整个等离子强度补偿过程，本电路通过对等离子强度的实时闭环补偿，确保等离子强度始终维持在合理的范围内，保证了等离子应用效果的稳定性、均匀性，增强了等离子应用的安全性，改善了工业生产应用的应用效果，提升了生产效率。