一种用于芯片高频测试的探针装置

本实用新型涉及半导体测试技术领域，公开了一种用于芯片高频测试的探针装置，包括保护壳，所述保护壳内部一侧开设有斜向限位槽，所述保护壳内部底端固定设置有第一弹簧，所述第一弹簧中部套设有探针主体，所述探针主体底端中部固定设置有探针头。本实用新型中，该装置通过保护壳可对内部探针主体以及探针头进行保护，在进行使用时通过控制盘直接向前端推入即可将探针头漏出，卡块卡入斜向限位槽底部即可实现固定，在使用完毕后按压卡块即可取消对限位盘的限位，第一弹簧使底部探针头自动缩回保护壳内部，从而在提高保护效果的同时也能够便于进行使用，使用完毕后即可将探针收回，起到更好的保护作用。