一种基于MEMS结构的吸光式探测器

本实用新型公开了一种基于MEMS结构的吸光式探测器，属于储能消防探测器技术领域。包括封装基板，所述封装基板上设有BT管壳，BT管壳内设有MEMS发射芯片和MEMS接收芯片，MEMS接收芯片和MEMS发射芯片之间设有起分隔作用的围坝，所述BT管壳上端设有密封连接的玻璃基片，玻璃基片外表面涂覆有化学薄膜介质，所述BT管壳内部灌注有密封胶体。通过在玻璃基片上设置化学薄膜介质，与可燃气体或其他有害气体反应后，可改变薄膜的吸光性，使反射率增强，从而实现可燃气体或其他有害气体的探测功能；吸光式探测器的整体体积较小，更适配于储能系统中电池包等狭小空间，且成本相较于光纤式气体探测要低的多，且使用寿命较长。