一种全石英谐振式力传感器芯片结构

本实用新型涉及一种全石英谐振式力传感器芯片结构，包括石英上盖、石英频率芯片和石英基座，所述的石英频率芯片上设置有凹陷或凸起的MESA结构，该石英频率芯片上端安装有石英上盖，所述的石英上盖罩在MESA结构外形成密封空间，所述的MESA结构上设有电极面，所述的石英频率芯片的两侧均设置有与电极面相连的电极，所述的石英频率芯片安装在石英基座上，所述的石英基座上端的两侧均设置有一焊盘，每个焊盘与对应的电极连接。本实用新型将石英上盖、石英频率芯片以及石英基座堆叠共同组成力学敏感单元，整个力学敏感单元均采用一致的石英材质，这样的组合结构能减少感测过程中力传递的损耗，确保力传递效果，可提高力传感信号的精确度。