退火装置

本实用新型公开了一种退火装置，退火装置包括：箱体，箱体内设置有容纳空间；加热托盘，加热托盘收容于容纳空间内且加热托盘设置有用于容纳芯片的加热腔；供气装置，供气装置设置有供气通道和出气通道，供气通道和出气通道分别与加热腔连通，供气装置在加热腔内形成有用于携带废弃的载气气流。根据本实用新型的退火装置通过供气通道和出气通道分别与加热腔连通，供气通道可以为加热腔内提供惰性气体或有益气体，加热腔内由加热产生的废弃可以通过出气通道排出，以控制调整退火过程中加热腔内的气氛，避免有机气体在箱体内局部集中残留，保证箱体和加热腔内各区域中气氛均匀，进而提高了最终形成的钙钛矿芯片的性能。