一种用于光刻设备的晶圆推片机构

本实用新型提出一种用于光刻设备的晶圆推片机构，其包括支承装配组件、推移导向组件、导向支托组件、推移操作组件、盒体限位组件及晶圆推移组件，该晶圆推片机构的盒体限位组件由边部限位块、底部限位块和高度调节块组成，可以确保出料晶圆盒体和进料晶圆盒体在支承座板上保持固定和定位准确，从而提高晶圆推移的精度和效率，通过高度调节块，可以适应不同高度或发生磨损的晶圆盒体，进一步提高晶圆推移的精度，适用于不同尺寸和类型的晶圆盒体，具有较强的适应性，减少因晶圆盒体尺寸变化造成的对生产效率的影响，可以将晶圆排列整齐，方便机械臂进行抓取，减少因晶圆片摆放不整齐造成的生产误差，有利于提高生产效率和集成电路成品的质量。