用于探针台系统的MEMS麦克风音频采集系统

本实用新型公开了用于探针台系统的MEMS麦克风音频采集系统，属于音频采集技术领域，包括互相电连接的电源模块、采集模块和主控模块，所述采集模块包括PDM麦克风模块和I2S麦克风模块，所述主控模块包括FPGA单元和数据接口单元，所述PDM麦克风模块、I2S麦克风模块均与FPGA单元电连接。通过上述方式，实现对晶圆级扬声器的音频采集；采集系统可集成在一块小的线路板上，麦克风的分布可根据出声孔大小与位置做适当调整，输出数据接口可灵活配置，便于后续开发。