一种便于封装的四分区流量传感器芯片

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一种便于封装的四分区流量传感器芯片
申请号:CN202421611577
申请日期:2024-07-09
公开号:CN222800078U
公开日期:2025-04-25
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型涉及一种便于封装的四分区流量传感器芯片。包括呈十字结构的中心热源结构以及围绕其设置的四组热电堆测温元件;第一上游热电堆测温元件中引出与45°轴平行排布的第一上游热电堆测温正、负电极第二上游热电堆测温元件引出与135°轴发明平行排布的第二上游热电堆测温正、负电极;第一下游热电堆测温元件引出与45°轴平行排布的第一下游热电堆测温正、负电极;第二下游热电堆测温元件引出与135°轴平行排布的第二下游热电堆测温正、负电极;中心热源结构十字方向的上下两端对称引出第一中心热源加热正、负电极,左右两端对称引出第二中心热源加热正、负电极。本实用新型解决了流量传感器了封装难度大且无法对多个流入方向的气体进行检测的问题。
技术关键词
测温元件 流量传感器芯片 热电堆结构 热电偶 热源 正电极 轴对称 通孔 排布结构 加热 坐标系 导线 硅片 衬底 氮化硅 氧化硅 气体
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